TFT - OLED - PDP: Mehrere Nass- und Trockenreinigungsschritte sind zur Herstellung von FPDs notwendig: Reinigung der angelieferten Glasplatten, Reinigung vor dem Sprühen der Abstandhalter, Reinigung vor dem Anbringen der Polarisatoren. Bei den Nassprozessen unterstützen Ultraschall- und Megasonic-Systeme den Reinigungsvorgang. Bei den Trockenprozessen kommen UV- und IR-Module zum Einsatz.

Inline-Modul zur Reinigung von TFT, OLED und PDP Displays

• Gleichmäßige Reinigungsergebnisse über die gesamte Plattenbreite durch stabile Nylonbürsten
• Vollautomatische Zustellung der Bürsten mit einer Genauigkeit von ±0,05mm, parallel zur Glasplatte
• Vermeidung von Partikelemissionen durch Trennung der Antriebs- und Lagerelemente von der Prozesskammer
• Reinigungsunterstützung durch Ultraschall, Air-Jet und Megasonic
• Verbesserte Benetzbarkeit der Substrate und Entfernung organischer Verunreinigungen durch integrierte UV-Module (Trockenreinigung)