Anlagenkette für Strukturierungsprozesse wie Entwickeln, Ätzen und Strippen, basierend auf der gleichen Modulbauweise wie Reinigungsanlagen. Die Anlagenkette wird je nach Anforderung mit unterschiedlichen Sprüh- und Schwalltechniken, Transport- und Filtersystemen ausgestattet.

Inline-Modul für Strukturierungsprozesse wie Entwickeln, Ätzen und Strippen 

• Gleichmäßiges Ätzbild ohne „Pfützeneffekt" durch intermittierendes Ätzen mit Einzeldüsenansteuerung
• Innovative Filter-Technologie beim Strippen
• Variable Transportsysteme für Glasmaterialien mit einer Stärke von 0,3 bis 6 mm
• Maschinendesign entspricht höchsten Reinraumansprüchen