Inline-Modul zur Zwischenlagerung (Ein- bzw. Auslagerung) von Wafern
Spezifikationen:
• Variable Kapazitäten
• Geringer Wartungsaufwand
• Zwischenlagerung von Wafern bei Wartungsarbeiten
• Durchgängige Wafer-Verfolgung
Produktdatenblatt:
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