Während des Annealing-Prozesses (Temperung) bei der Herstellung des CIS/CIGS Absorbers entsteht eine CuS-Fremdphase, die entfernt werden muss. Dies geschieht durch einen Ätzschritt mittels einer KCN-Lösung.

Inline-System zur Entfernung der CuS-Fremdphase

• Effektives und sicheres Entfernen der Fremdphase (CuS) durch präzise einstellbare und kontrollierte Prozessparameter.
• Erreichen gleichmäßiger Prozessergebnisse durch optimale Prozessführung und optimale Gestaltung der Ätzmedienverteilung auf der Substratoberfläche.
• Vermeidung von kritischen Zyanidgaskonzentrationen durch kontinuierliche Badkontrolle und Notfallreaktion bei kritischen Prozessparametern.
• Prozessieren der Glassubstrate und Folien mit einer hohen Prozesssicherheit und Anlagenverfügbarkeit.