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SINGLE SIDE ETCH

Nach Beschichtungsprozessen (TCO, Absorber und Molydäm), ist die einseitige Entfernung von Fehlbeschichtungen auf der Substratoberfläche (sunny side up) durch nasschemisches Ätzen erforderlich. Dabei muss gleichzeitig die funktionale Oberfläche vor Ätzdämpfen geschützt werden.

Key Benefits

Inline-System zum einseitigen Entfernen von Fehlbeschichtungen auf der Glasoberfläche

  • Effektives und präzises, einseitiges Entschichten von Glasoberflächen durch einstellbare und kontrollierte Prozessparameter
  • Optimale Prozessführung bei gleichzeitigem Schutz der funktionalen Oberfläche auch vor chemisch aktiven Gasen.
  • Prozessieren der Glassubstrate mit einer hohen Prozesssicherheit und Anlagenverfügbarkeit