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TCO-Etch

Frontkontakte (TCO), die über PECVD abgeschieden werden, verfügen im Normalfall nicht über ein optimales Transmissions- und Streuverhalten des einfallenden Lichts. Um die Lichtstreuung definiert einzustellen und die Lichtausbeute zu erhöhen, wird die Oberflächenbeschichtung nasschemisch strukturiert.

Key Benefits

Inline-System zur Oberflächenstrukturierung der Frontkontaktschicht

  • Effektives Strukturieren der Oberfläche der Frontkontaktschicht durch präzise einstellbare und kontrollierte Prozessparameter.
  • Erreichen gleichmäßiger Prozessergebnisse durch optimale Prozessführung und optimale Gestaltung der Medienverteilung auf der Substratoberfläche.
  • Prozessieren der Glassubstrate mit einer hohen Prozesssicherheit und Anlagenverfügbarkeit.