Der Buffer dient zur Einlagerung der Wafer/Zellen bei Wartungsarbeiten/Störungen in der nachfolgenden Maschine. Dazu fahren die Wafer/Zellen in die Puffermagazine ein, die gemeinsam zur Aufnahme der nächsten Wafer-/Zellreihe um einen Slot nach oben takten. Die eingelagerten Wafer/Zellen werden bei Störungen in der vorgelagerten Maschine nach dem Prinzip first-in, last-out (FILO) weitertransportiert. Im Normalbetrieb werden die Wafer/Zellen ohne Unterbrechung durch den Buffer gefördert.

Inline-Modul zur Zwischenlagerung (Ein- bzw. Auslagerung) von Wafern/Zellen

• Variable Kapazitäten
• Zwischenlagerung von Wafern/Zellen bei Wartungsarbeiten
• Durchgängige Wafer- bzw. Zellverfolgung
• Geringer Wartungsaufwand