Der Diverter sichert die konstante und lückenfreie Auffüllung der nachfolgenden Maschine und somit den optimalen Durchsatz der gesamten Linie. Von insgesamt vier unabhängigen Spuren werden je fünf Wafer an zwei Transportbänder des Diverters übergeben. Die Wafer werden danach fünf Transportbändern zugeführt und im 90°-Winkel fünfspurig aus dem Diverter ausgeschleust.

Inline-Modul zur Synchronisierung von Wafern 

• Konstante und lückenfreie Beladung des nachfolgenden Gewerks
• Stabilisierung und Synchronisierung des Wafertransports
• Permanente Positionsüberwachung der Wafer
• Durchsatz von 3000 Wafern pro Stunde