Der Diverter sichert die konstante und lückenfreie Auffüllung der nachfolgenden Maschine und somit den optimalen Durchsatz der gesamten Linie. In jeweils einem eigenen Modul werden die Wafer von insgesamt drei unabhängigen Spuren auf fünf Spuren umgesetzt.

Inline-Modul zur Synchronisierung von Wafern 

• Konstante und lückenfreie Beladung des nachfolgenden Gewerks
• Stabilisierung und Synchronisierung des Wafertransports
• Permanente Positionsüberwachung der Wafer
• Durchsatz von 3400 Wafern pro Stunde