Das System besteht aus einer Prüf- und Sortiereinheit, welche 3000 Solarwafer pro Stunde mit verschiedenen Messtools auf die geforderten Qualitätskriterien hin berührungslos überprüft und anschließend in Sortierboxen ablegt. Folgende Wafereigenschaften werden geprüft/vermessen: Geometrie, Risse, Ausbrüche, Kerben, Löcher, Oberflächenverunreinigungen, Dickenabweichungen, TTV, Biegung und Sägeschäden.

Inline-Modul zur Qualitätskontrolle von Solarwafern

• Verschiedene Messstationen für optimierte Waferinspektion
• Sehr gute grafische Darstellung der aktuellen Messwerte
• Reduziertes Bruchrisiko durch minimiertes Wafer-Handling während Inspektion und Sortierung
• Direkte Ablage in verschiedene Styroporboxen (Schmid-Standard)
• Anschluss an übergeordnetes Datentransfersystem OFC