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Wafer Metrology Sorter System

Der Metrology Sorter ist die benutzerfreundliche „on-the-fly“ -Endkontrolle und Sortierung im SCHMID Wafer Backend* und eignet sich hervorragend für diamant- und slurrygesägte als auch für Mono-, Quasimono- und Multi-Wafer – und das ohne mechanische Umbauten. Mit der optionalen Wafer Production Analyzer-Software wird die Endkontrolle zur Prozesskontrolle: Die getesteten Wafer werden als Brick dargestellt und erlauben die zeitnahe Anpassung und ein tiefes Verständnis der vorgelagerten Prozesse – ein klarer Wettbewerbsvorteil für Waferhersteller!

* Das SCHMID Wafer Backend beinhaltet alle Anlagen für die Prozesse, die in einer Waferproduktion nach dem Sägen stattfinden, also Reinigungsprozesse, Vereinzelung und Endkontrolle inkl. aller Handlingschritte

Key Benefits

 

  • SCHMID bietet eine perfekt abgestimmte
    Wafer Backend-Lösung aus einer Hand an
  • Exzellente SCHMID Serviceverfügbarkeit in Asien, Europa und den USA
  • Eigenentwicklung der SCHMID Group sichert uneingeschränkten Zugriff und kontinuierliche Weiterentwicklung hinsichtlich Technologie und Kundenanpassungen
  • Modulare Inspektionsarchitektur für optimierte Inspektionsbedingungen mit höchstem Durchsatz
  • Optionale Inspektion diamantdrahtgesägter Wafer
  • Schnelle Umstellungszeiten von slurrygesägten zu diamantgesägten Wafern und von Multi zu Mono
  • Zuverlässige und nachgewiesene Mikroriss- und Oberflächeninspektion
  • Optionale Mono-Like Klassifizierungssoftware
  • Modularer Aufbau für wirtschaftliche Konfigurationen
  • Optionale Analyse-Software für angepasste Auswertungen und Qualitätsverbesserung der gesamten Waferproduktion → verfügbar für Mikrorisse, Muschelausbrüche, Dicken- und Rauheitsmessung
  • Optionale Materialverfolgung durch die gesamte Linie
  • Modulare Aufrüstung der Sortierplätze für angepasste Kundenbedingungen