Wafer Metrology Sorter System
Der Metrology Sorter ist die benutzerfreundliche „on-the-fly“ -Endkontrolle und Sortierung im SCHMID Wafer Backend* und eignet sich hervorragend für diamant- und slurrygesägte als auch für Mono-, Quasimono- und Multi-Wafer – und das ohne mechanische Umbauten. Mit der optionalen Wafer Production Analyzer-Software wird die Endkontrolle zur Prozesskontrolle: Die getesteten Wafer werden als Brick dargestellt und erlauben die zeitnahe Anpassung und ein tiefes Verständnis der vorgelagerten Prozesse – ein klarer Wettbewerbsvorteil für Waferhersteller!
* Das SCHMID Wafer Backend beinhaltet alle Anlagen für die Prozesse, die in einer Waferproduktion nach dem Sägen stattfinden, also Reinigungsprozesse, Vereinzelung und Endkontrolle inkl. aller Handlingschritte
Key Benefits
- SCHMID bietet eine perfekt abgestimmte
Wafer Backend-Lösung aus einer Hand an - Exzellente SCHMID Serviceverfügbarkeit in Asien, Europa und den USA
- Eigenentwicklung der SCHMID Group sichert uneingeschränkten Zugriff und kontinuierliche Weiterentwicklung hinsichtlich Technologie und Kundenanpassungen
- Modulare Inspektionsarchitektur für optimierte Inspektionsbedingungen mit höchstem Durchsatz
- Optionale Inspektion diamantdrahtgesägter Wafer
- Schnelle Umstellungszeiten von slurrygesägten zu diamantgesägten Wafern und von Multi zu Mono
- Zuverlässige und nachgewiesene Mikroriss- und Oberflächeninspektion
- Optionale Mono-Like Klassifizierungssoftware
- Modularer Aufbau für wirtschaftliche Konfigurationen
- Optionale Analyse-Software für angepasste Auswertungen und Qualitätsverbesserung der gesamten Waferproduktion → verfügbar für Mikrorisse, Muschelausbrüche, Dicken- und Rauheitsmessung
- Optionale Materialverfolgung durch die gesamte Linie
- Modulare Aufrüstung der Sortierplätze für angepasste Kundenbedingungen



