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Buffer + Flex Buffer

Der Flex Buffer lagert bei Wartungsarbeiten/Störungen der nachfolgenden Maschine die Wafer/Zellen in die Puffermagazine ein, die jeweils gemeinsam zur Aufnahme der nächsten Wafer-/Zellreihe um einen Slot nach oben fahren. Die eingelagerten Wafer/Zellen werden bei Störungen in der vorgelagerten Maschine nach dem Prinzip first-in, last-out (FILO) weitertransportiert. Im Normalbetrieb werden die Wafer/Zellen ohne Unterbrechung durch den Buffer gefördert. Mehrere unabhängige geschwindigkeitsgesteuerte Bandeinheiten ermöglichen die Erzeugung von Lücken, so dass zusätzlich zum Normalbetrieb die vollen Magazine entleert werden können, was in einer Durchsatzerhöhung resultiert.

Key Benefits

  • Variable Geschwindigkeitssteuerung
  • Schonender Wafer-/Zelltransport
  • Durchgängige Wafer- bzw. Zellverfolgung
  • Variable Kapazitäten
  • Geringer Wartungsaufwand