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Carrier Loader + Carrier Unloader

Die Wafer/Zellen werden zwischen den einzelnen Prozessschritten entweder manuell oder mittels des Montrac Systems in speziell entwickelten SCHMID Carriern transportiert. Die vollen Carrier werden im Loader reihenweise positioniert und zur Übergabeposition gefahren. Hier werden die Wafer/Zellen über ein Indexsystem aus den Carrierfächern herausgefahren und anschließend der Prozessmaschine zugeführt. Umgekehrt nimmt der Unloader die prozessierten Wafer/Zellen auf und sichert eine gleichmäßige Befüllung der SCHMID Carrier. Hierzu werden die Wafer/Zellen auf geschwindigkeitsgesteuerten Transportbändern zu Reihen synchronisiert und schrittweise über ein Indexsystem in die leeren Carrierfächer eingelagert.

Key Benefits

Module zur Be- und Entladung von Prozessanlagen

  • Höchster Durchsatz auf kleiner Fläche
  • Vibrationsfreier und sanfter Wafer-/Zelltransport
  • Passend für verschiedene Wafer-/Zellgrößen
  • Geringe Bruchrate < 0,05 %
  • Geeignet für sehr dünne Wafer/Zellen ab 120 µm
  • Einfache Integration in Montrac System