Der Conveyor ist in verschiedenen Längen zwischen 500 mm und 2000 mm erhältlich und transportiert auf zwei, vier oder fünf Spuren die Wafer/Zellen innerhalb der Produktionslinie. Über Zentrierleisten werden die Wafer/Zellen im Einlauf ausgerichtet und mittels Sensoren für die Wafer-/Zellverfolgung erfasst. Die individuelle Ansteuerung der einzelnen Transportbänder ermöglicht das Abbremsen oder Beschleunigen der Wafer/Zellen auf ihrer jeweiligen Spur und somit eine synchronisierte Übergabe der Wafer/Zellen an die nachfolgende Maschine.

Inline-Modul für den Transport von Wafern/Zellen

• Variable Geschwindigkeitssteuerung der Bänder (beschleunigen/abbremsen)
• Keine mechanische Beanspruchung der Wafer/Zellen
• Synchronisation
• Optionale Bruchkontrolle und -ausschleusung
• Wafer-/Zellverfolgung und Prozessüberwachung