Die Load Cell Line sichert die Beschickung der Zelllinie mit hochwertigen unversehrten Wafern. Dazu werden die Wafer mittels verschiedener Mess-Systeme auf Beschädigungen kontrolliert und anschließend in die Zellproduktionslinie eingespeist. Die Load Cell Line ist entsprechend dem gewünschten Automatisierungsgrad und Inspektionsumfang in verschiedenen Ausführungen erhältlich.

Inline-Modul zum Einspeisen von Wafern in eine Zellproduktion

• Waferbruchkontrolle vor Prozessbeginn
• Bruchausschleusung vor und nach den Mess-Systemen
• Integration verschiedener optionaler Mess-Systeme
• Wafer- und Chargenverfolgung
• Schonender Transport und Handling