Multi Lane Loader und Multi Lane Unloader sorgen für eine sichere Be- und Entladung von Prozessanlagen. Der Wafer-/Zelltransport erfolgt dabei jeweils fünfspurig. Im Loader werden in zwei Schubladen mit je fünf Fächern die Wafer/Zellen bereitgestellt und mittels seitlicher Düsenleiste schonend vereinzelt. Anschließend entnimmt ein fünffaches Bernoulli-Greifersystem die Wafer/Zellen der jeweils aktiven Schublade und legt sie auf die Auslaufbänder ab. Umgekehrt entnimmt ein fünffaches Bernoulli-Greifersystem im Unloader die Wafer/Zellen von den Einlaufbändern und legt sie in die Fächer der jeweils aktiven Schublade ab. Optional kann im Multi Lane Loader eine Brucherkennung inkl. -ausschleusung im Bereich der Einlaufbänder integriert werden.

Module zur Be- und Entladung von Prozessanlagen

• Kontinuierliche und sichere Be- bzw. Entladung
• Automatische Vereinzelung
• Einfache Bedienung und Be- und Entladung der Maschine
• Geringe Bruchrate < 0,2%
• Wartungsarmer mechanischer Aufbau