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PECVD Loader + Unloader

Im PECVD Loader/Unloader - speziell entwickelt für das PentaBlue PECVD System von Schmid - werden die beschichteten Wafer aus den Prozesstrays entnommen und gegen unprozessierte Wafer ausgetauscht. Um Durchsatzwerte von bis zu 3600 Wafern pro Stunde zu gewährleisten, befinden sich je Durchlauf immer drei Trays gleichzeitig in der Maschine. Während das erste Tray beladen wird, erfolgt die Entladung der prozessierten Wafer und anschließende Reinigung des zweiten Trays. Das dritte Tray wartet zur gleichen Zeit, um sofort in die Entladeposition wechseln zu können, sobald Tray eins in die PentaBlue gefahren wird. Im Anschluss an den Beschichtungsprozess erfolgt während der Waferausfuhr eine Bruchkontrolle inklusive Ausschleusung. Zur weiteren Qualitätssicherung kann an dieser Stelle zusätzlich die Farbhomogenität der Wafer gemessen und die entsprechenden Messergebnisse der Wafer ID hinzugefügt werden.

Key Benefits

Modul zur Be- und Entladung der PentaBlue PECVD-Anlage

  • Beladen, Entladen und Reinigen der Prozesstrays innerhalb einer Maschine
  • Wärmeisolation der Kammer garantiert eine nur minimale Abkühlung der Trays während des Be- und Entladeprozesses und sorgt damit für Energie- und Kosteneinsparungen
  • Anbindung an Montrac Intralogistics System möglich
  • Höchste Durchsätze bei kleinster Bruchrate
  • Traykapazität: 100 Wafer