Im PECVD Loader / Unloader werden innerhalb eines Arbeitsganges die PECVD-prozessierten Wafer im Tray gegen unprozessierte Wafer ausgetauscht. Mit Hilfe eines Systems aus acht Bernoulli-Greifern werden die prozessierten Wafer dem Tray entnommen, auf Bruch kontrolliert und auf zwei Auslaufspuren abgelegt. Gleichzeitig führen zwei Einlaufspuren unprozessierte Wafer der Übergabeposition zu, die vom Greifersystem in die freien Trayplätze abgelegt werden. Dieser Vorgang wird so oft wiederholt, bis das Tray wieder vollständig mit unprozessierten Wafern gefüllt ist.

Inline-Modul zur Be- und Entladung einer PECVD-Anlage

• Be- und Entladung in einer Maschine und einem Arbeitsgang
• Schonendes Waferhandling
• Geringe Bruchrate < 0,3%
• Geringer Wartungsaufwand