Zur Erzeugung des Emitters wird der Wafer mit Phosphor dotiert, indem er durch einen extrem homogenen Phosphor-Wasser-Nebel geführt wird. Im Anschluss werden die Phosphoratome im Diffusionsofen in die Waferoberfläche eingelagert. Dadurch werden frei bewegliche Elektronen, die als Ladungsträger dienen gewonnen. Eine beidseitige Phosphor-Dotierung wird durch eine Wendestation realisiert.

Inline-Modul zur Erzeugung der Emitterschicht auf der Solarzellenoberfläche

• Keine zusätzliche Handhabung der Zellen erforderlich
• Mikrofeine, hoch homogene Phosphorsäurebeschichtung
• Gleichmäßige Nebelverteilung über die gesamte Spurbreite
• Hohe Prozesssicherheit durch kontrollierte Nebelgenerierung
• Formatunabhängige, sehr niedrige Rüstzeit
• Umweltverträglichkeit durch ausschließliche Verwendung von Phosphorsäure (kein Chlorid)