Der Pick+Place Robot ist eine effektive und flexible Hochgeschwindigkeits-Lösung für verschiedene Anwendungsbereiche, die höchste Präzision bei der Handhabung erfordern. Beim Umsetzen der Wafer/Zellen zwischen Ein- und Auslaufband kann die Spuranzahl von eins bis fünf variieren. Ferner können Wafer/Zellen in Fächer abgelegt oder aus ihnen entnommen werden. Ein integriertes Kamerasystem erfasst Position, Defekte und sich überlappende Wafer/Zellen. Speziell entwickelte Bernoulli-Greifer ermöglichen ein schonendes und berührungsloses Greifen.

• Sehr schnelle Taktzeiten von bis zu 3600 Wafern/Zellen pro Stunde
• Schonende Behandlung der Wafer/Zellen
• Hohe Flexibilität des Systems
• Lagerkapazitäten von bis zu 800 Wafern/Zellen (160 µm)