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POCl3 Diffusion Furnace

Das System ist mit vier automatischen Trägersystemen zum separaten Be- und Entladung der einzelnen Prozessröhren ausgestattet. Eine Röhre kann vier aufeinanderfolgende Quarzboote pro Durchlauf handhaben, jedes Boot ist mit 50 Wafern „back to back" beladen. Nach dem Einfahren und Aufheizen, startet der Prozess mit einem Stabilisierungsschritt. Danach wird Stickstoff als Trägergas für die POCl3-Flüssigkeit eingesetzt. Als Prozessabschluss findet ein Oxidationsschritt statt. Nach Ablauf der eingestellten Diffusionszeit öffnet sich die Röhre, um entladen und danach wieder beladen zu werden.

Key Benefits

Batch System zur Erzeugung des  p-n Übergangs auf texturierten Wafern

  • Hohe Diffusionsgleichmäßigkeit
  • Klasse 10 kompatible polierte Edelstahlabsaugung
  • Durchflusskontrolliertes Gassystem für jede einzelne Prozessröhre
  • Digitale Prozess- und Temperaturkontrolle für jede einzelne Prozessröhre
  • „Back to Back" Installation möglich
  • Als vollautomatisches System verfügbar